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[发明专利]管式PECVD石墨舟工艺点上料装置-CN201610483918.5有效
发明人：邹海军;吴佳俊;吴俊;王少华 -专利权人：常州亿晶光电科技有限公司
申请日： 2016-06-27 - 公布日： 2017-05-10 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种管式PECVD石墨舟工艺点上料装置，包括工艺点排布装置和工艺点移送装置，工艺点移送装置设置在工艺点排布装置的正上方。本发明使用工艺点排布装置对工艺点按石墨舟上工艺孔的位置在安装板上进行一一对应排布，将排布好的工艺点通过工艺点移送装置输送到下一工序进行工艺点的安装，工艺点的全部输送工序均通过机器自动完成，节省了人力，提高了安装效率
pecvd 石墨工艺点上料装置

[实用新型]管式PECVD石墨舟工艺点上料装置-CN201620650763.5有效
发明人：邹海军;吴佳俊;吴俊;王少华 -专利权人：常州亿晶光电科技有限公司
申请日： 2016-06-27 - 公布日： 2016-12-07 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种管式PECVD石墨舟工艺点上料装置，包括工艺点排布装置和工艺点移送装置，工艺点移送装置设置在工艺点排布装置的正上方。本实用新型使用工艺点排布装置对工艺点按石墨舟上工艺孔的位置在安装板上进行一一对应排布，将排布好的工艺点通过工艺点移送装置输送到下一工序进行工艺点的安装，工艺点的全部输送工序均通过机器自动完成，节省了人力
pecvd 石墨工艺点上料装置

[发明专利]全自动管式PECVD石墨舟工艺点安装装置-CN201610475556.5有效
发明人：邹海军;吴佳俊;吴俊;王少华 -专利权人：常州亿晶光电科技有限公司
申请日： 2016-06-27 - 公布日： 2018-09-07 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明涉及一种全自动管式PECVD石墨舟工艺点安装装置，包括工艺点上料装置、石墨舟输送装置和工艺点压装装置，工艺点上料装置为所述石墨舟输送装置提供工艺点，工艺点压装装置设置在石墨舟输送装置的正上方。本发明使用工艺点上料装置进行工艺点的排布与输送，将排布好的工艺点输送到石墨舟输送装置中的石墨舟上，再使用工艺点压装装置将工艺点压装入石墨舟内，全部工序均通过机器自动完成，节省了人力，提高了安装效率，提高了劳动生产率
全自动 pecvd 石墨工艺安装装置

[实用新型]全自动管式PECVD石墨舟工艺点安装装置-CN201620652548.9有效
发明人： -专利权人：
申请日： 2016-06-27 - 公布日： 2017-01-04 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种全自动管式PECVD石墨舟工艺点安装装置，包括工艺点上料装置、石墨舟输送装置和工艺点压装装置，工艺点上料装置为所述石墨舟输送装置提供工艺点，工艺点压装装置设置在石墨舟输送装置的正上方。本实用新型使用工艺点上料装置进行工艺点的排布与输送，将排布好的工艺点输送到石墨舟输送装置中的石墨舟上，再使用工艺点压装装置将工艺点压装入石墨舟内，全部工序均通过机器自动完成，节省了人力，提高了安装效率，
全自动 pecvd 石墨工艺安装装置

[发明专利]基板处理装置、工艺流体处理装置及臭氧分解方法-CN201711015273.3有效
发明人：尹遵喜;赵乘桓 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2017-10-26 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：公开的是一种基板处理装置和工艺流体处理装置。基板处理装置包括：工艺腔室，该工艺腔室利用包含臭氧的工艺流体处理基板；排放管道，连接至工艺腔室以排放用来处理基板的工艺流体；和工艺流体处理装置，该工艺流体处理装置与排放管道连接。工艺流体处理装置包括：具有内部空间的壳体，该内部空间具有容纳工艺流体的设定容积；和喷嘴，该喷嘴与排放管道和壳体的内部空间连接。
处理装置工艺流体臭氧分解方法

[发明专利]用于具有回热的工艺气体设备的压缩机系统以及用于二氧化碳气体分离的工艺气体设备-CN201080016196.3无效
发明人：大卫·热策 -专利权人：西门子公司
申请日： 2010-03-31 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： F25J1/00 文献下载
摘要：用于具有回热的工艺气体设备的根据本发明的压缩机系统，具有：用于压缩潮湿的工艺气体的压缩机，其具有至少一个压缩机级；和工艺气体冷却单元，其用于冷却工艺气体而连接在压缩机级的下游并且具有通过冷却介质驱动的至少一个第一工艺气体冷却装置和第二工艺气体冷却装置，其中工艺气体冷却装置分别具有单独的、被施加以工艺气体的工艺气体冷却装置罩(工艺气体冷却装置罩具有安置在其中的、被施加以冷却介质的工艺气体冷却装置集合)，在工艺气体侧直接相继连接以及可以通过冷却介质驱动并且设计为使得在工艺气体侧在上游设置的工艺气体冷却装置可以从工艺气体导散预先确定的热流，由此工艺气体在工艺气体冷却装置之间的热力学状态位于露点线的区域中并且可以借助在工艺气体侧下游设置的工艺气体冷却装置冷却到预先确定的温度。露点线理解为在工艺气体的压力-焓图内的如下线，该线标记工艺气体的其中在工艺气体中湿气凝结的热力学状态。
用于具有工艺气体设备压缩机系统以及二氧化碳气体分离

[实用新型]一种连续式原子层沉积设备-CN202222067672.7有效
发明人：田玉峰 -专利权人：厦门韫茂科技有限公司
申请日： 2022-08-08 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：其中，这种连续式原子层沉积设备包含用以放置基体的载盘装置、进料装置、取料装置、至少两个工艺装置和至少一个中转装置。中转装置的数量比工艺装置的数量少一个，且工艺装置和中转装置间隔设置。进料装置接合于第一个工艺装置。取料装置接合于最后一个工艺装置。工艺装置包括设置有工艺腔的工艺箱体。进料装置构造为用以将载盘装置移入第一个工艺腔。取料装置构造为用以将最后一个工艺腔内的载盘装置移出。中转装置包括设置有中转腔的中转箱体，以及配置于中转腔体的中转构件。中转箱体构造为将载盘组件从一个工艺腔移动至另一个工艺腔。
一种连续原子沉积设备

[发明专利]现场监视等离子体腐蚀装置及方法-CN98120050.8有效
发明人：赵圣範;金学弼;辛银姬;崔百洵 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 1998-09-28 - 公布日： 1999-07-07 - 主分类号： C23F1/00 文献下载
摘要：本发明的现场监视等离子体腐蚀装置包括工艺室,使用等离子体在其中进行腐蚀工艺;工艺气体提供装置,将工艺气体提供到工艺室内;废气排气装置,工艺室完成工艺后使用泵装置除去废气;采样管,连接到工艺室使用压力差采样工艺室内的气体工艺气体为从采样管连接采样的,并检测腐蚀和清洁工艺的优化工艺方法。
现场监视等离子体腐蚀装置方法

[发明专利]一种智能轮询焦炉红外线测温仪-CN201610097150.8有效
发明人：黄润波 -专利权人：黄润波
申请日： 2016-02-22 - 公布日： 2018-12-25 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明公开了一种智能轮询焦炉红外线测温仪，包括直行工艺测温装置、直行工艺预温装置、直行工艺参数生成装置、炉头工艺测温装置、炉头工艺预温装置、炉头参数生成装置、蓄热室工艺测温装置、蓄热室工艺预温装置、蓄热室工艺参数生成装置、数据计算装置、数据获取装置、参数匹配装置、信号发送装置、查询装置、智能控制装置，通过这种智能焦炉红外线测温仪智能轮询可以避免现有的一天多次温度不停地发送信息产生信息冗余的缺点。
一种智能焦炉红外线测温

[发明专利]高氨氮高有机物玉米深加工废水的处理装置-CN201611040852.9有效
发明人：姚宏;左陆珅;杨黎俊 -专利权人：北京交通大学
申请日： 2016-11-11 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： C02F3/30 文献下载
摘要：本发明提供了一种高氨氮高有机物玉米深加工废水的处理方法和装置。该装置包括：依次连接的高负荷曝气池工艺装置、一体式厌氧氨氧化工艺装置和OAO工艺装置，每个工艺装置中都设置有沉淀池和污泥回流系统；废水进入高负荷曝气池，高负荷曝气池的出水进入一体式厌氧氨氧化工艺装置，废水在一体式厌氧氨氧化工艺装置中进行脱氮处理，一体式厌氧氨氧化工艺装置的出水进入OAO工艺装置，OAO工艺装置进行有机物和氮的深度去除，OAO工艺装置输出处理后的废水。本发明将厌氧氨氧化引入玉米深加工废水处理工艺，利用厌氧氨氧化菌作为厌氧氨氧化工艺主体，有效结合多种污水处理工艺，通过格栅、调节和多介质过滤器高效去除废水中的悬浮物。
高氨氮高有机物玉米深加工废水处理装置

[发明专利]基于关联参数的石化装置运行工艺参数监测方法及装置-CN202010450946.3有效
发明人：孙峰;高新江;李亚辉 -专利权人：中国石油化工股份有限公司;中石化安全工程研究院有限公司;中石化国家石化项目风险评估技术中心有限公司
申请日： 2020-05-25 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明实施方式提供一种基于关联参数的石化装置运行工艺参数监测方法，属于石化装置监测技术领域。方法包括：接收DCS报警信息，DCS报警信息包括石化装置运行过程中的第一工艺参数；依据第一工艺参数确定与第一工艺参数关联的第二工艺参数；判断第二工艺参数是否满足与第一工艺参数的对应关系并依据判断结果确定第一工艺参数对应的生产装置或第一工艺参数对应的数据采集装置是否异常本发明通过判断与第一工艺参数关联的第二工艺参数的变化状态判断是第一工艺参数对应的生产装置异常还是第一工艺参数对应的数据采集装置异常，从而解决了因数据采集装置异常造成的报警失真的问题。
基于关联参数石化装置运行工艺监测方法

[发明专利]高温蚀刻工艺槽-CN201210270325.2有效
发明人：耿彪 -专利权人：耿彪
申请日： 2012-07-31 - 公布日： 2012-12-26 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种半导体LED芯片制作装置。本发明公开了一种高温蚀刻工艺槽，包括槽盖、防腐外壳、保温隔热层、加热装置、抑制气体挥发装置、降温装置、工艺槽本体、连接供液装置，所述槽盖位于工艺槽本体顶部，保温隔热层位于防腐外壳内，工艺槽本体位于保温隔热层与工艺槽之间，加热装置设置在工艺槽本体底部，抑制气体挥发装置固定在工艺槽本体的上部，降温装置固定在工艺槽本体内壁，连接供液装置从工艺槽本体顶部插入到工艺槽本体内。本发明耐高温，防腐蚀，抑制腐蚀气体挥发，减少工艺槽内药液损耗，能控制药液升温时间及药液温度的均匀性，能降温排放药液。
高温蚀刻工艺

[实用新型]高温蚀刻工艺槽-CN201220376750.5有效
发明人：耿彪 -专利权人：耿彪
申请日： 2012-07-31 - 公布日： 2013-01-30 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种半导体LED芯片制作装置。本实用新型公开了一种高温蚀刻工艺槽，包括槽盖、防腐外壳、保温隔热层、加热装置、抑制气体挥发装置、降温装置、工艺槽本体、连接供液装置，所述槽盖位于工艺槽本体顶部，保温隔热层位于防腐外壳内，工艺槽本体位于保温隔热层与工艺槽之间，加热装置设置在工艺槽本体底部，抑制气体挥发装置固定在工艺槽本体的上部，降温装置固定在工艺槽本体内壁，连接供液装置从工艺槽本体顶部插入到工艺槽本体内。本实用新型耐高温，防腐蚀，抑制腐蚀气体挥发，减少工艺槽内药液损耗，能控制药液升温时间及药液温度的均匀性，能降温排放药液。
高温蚀刻工艺

[发明专利]生产系统-CN201510430268.3有效
发明人：仓田茂 -专利权人：日本电产三协株式会社
申请日： 2015-07-21 - 公布日： 2018-03-30 - 主分类号： G05B19/05 文献下载
摘要：在生产系统(1)中，多个主工艺号存储于主机(8)，每一个处理装置(4至7)对处理对象物(2)的处理条件、即多个装置工艺与用于识别多个装置工艺的装置工艺号对应并被存储于处理装置(4至7)中的每一个当中，在中继机(9)中存储有对应表，所述对应表规定分别与多个主工艺号对应的处理装置(4至7)各自的装置工艺号。处理装置(4至7)将主工艺号发送到中继机(9)，并从中继机(9)接收与该主工艺号对应的装置工艺号，并利用与已收到的装置工艺号对应的装置工艺，对处理对象物(2)实施处理。
生产系统

[实用新型]工艺气和动力锅炉烟气的处理装置-CN201320465077.7有效
发明人：雷朝红 -专利权人：神华集团有限责任公司;中国神华煤制油化工有限公司;陕西神木化学工业有限公司
申请日： 2013-07-31 - 公布日： 2014-05-07 - 主分类号： F23J15/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种工艺气和动力锅炉烟气的处理装置。该工艺气和动力锅炉烟气的处理装置包括依次连通的工艺气处理装置、动力锅炉烟气处理装置、及排烟装置。应用本实用新型的工艺气和动力锅炉烟气的处理装置，因为其包括依次连通的工艺气处理装置、动力锅炉烟气处理装置、及排烟装置，这样就将炼油、煤化工等企业内工艺气处理装置及动力锅炉烟气处理装置联系在一起，不但提高了工艺气的处理标准，减少了环境污染，而且，现有技术中的工艺气的排烟装置可以取消，减少了排烟装置的投资费用。
工艺动力锅炉烟气处理装置

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